Sidebar

 

Aprašymas: Vakuuminės kameros tūris - 75 litrai.; Apskrito dengiamo pavyzdžio diametras iki 300 mm; magnetrono taikinio dydis (diametras) 50.8 cm su dengimo kaminu; Substrato pakaitinimas, maksimali temperatūra, 350 oC; bazinis vakuumo kameros slėgimas, 2x10-7 Torr.

Pagrindinės taikymo sritys: vakuuminis magnetroninis metalų (chromas ir auksas) kontroliuojamo storio sluoksnių (dangų) formavimas kontroliuojamo slėgio (vakuumo) aplinkoje.

https://www.lesker.com/newweb/vacuumsystems/depositionsystemspvdprolinepvd75.cfm

Įrangos naudojimo mokymai vietoje: ne
Įranga gali naudotis tik kvalifikuoti specialistai: taip
Asmeninio asistento pagalba: yra

VU ID:
Susisiekite su mokslininkais:

Dr. Tadas Ragaliauskas
+370 5 223 4401

 

27 2 Ragaliauskas Magnetroninio garinimo sistema 1

Siekdami užtikrinti jums teikiamų paslaugų kokybę, Universiteto tinklalapiuose naudojame slapukus. Tęsdami naršymą jūs sutinkate su Vilniaus universiteto slapukų politika. Daugiau informacijos